Mikromechanische Sensoren

Protron entwickelt mikromechanische Sensoren für spezifische Kundenanforderungen. Neben unseren Drucksensoren, die für verschiedene Anwendungen adaptiert werden können, bieten wir einen Entwicklungsservice für alle Arten von mikroelectromechanischen Sensoren an. Wir haben Entwicklungs- und Fertigungserfahrungen für Intertialsensorik (Beschleunigungssensoren, Gyroscopes, Neigungssensoren), thermische Sensoren (Thermoelemente und Thermopiles), fluidische Sensoren (Strömungssensoren für Gase und Flüssigkeiten, Interdigitalelektroden für Impedanzanalytik).

Informationen über unseren neuen thermischen Strömungssensor: Protron Strömungssensor

Drucksensoren

Protron hat ein Absolutdruck-Sensorsystem mit einem hochminiaturisierten kapazitiven Sensor-Chip entwickelt. Der Sensor-Chip wird mittels Oberflächenmikromechanik auf einem Quarzsubstrat gefertigt, wodurch parasitäre Kapazitäten minimiert werden. Das kapazitive Prinzip gewährleistet eine langzeitstabile hohe Genauigkeit und eine minimale Hysterese im Vergleich zu piezoresistiven Drucksensoren. Der Sensor und ein 14bit A/D-Wandler werden in einem 5x5mm² Keramikgehäuse integriert. Das System wird über eine I²C-Schnittstelle gesteuert. Eine einfache externe Schaltung ermöglicht die Programmierung und Kalibrierung des Sensors.

Eigenschaften

  • Druckbereiche: 0.3-1.3bar / 2-8bar
  • Auflösung: bis zu 0.01mbar
  • Chipfläche 0.6x1.2mm², Höhe 0.5mm
  • Gehäusefläche 5x5mm², Höhe 1.2mm
  • I²C Schnittstelle
  • Versorgungsspannung 1.8 to 5.5V
  • geringe Leistungsaufnahme
  • minimale Hysterese

Protron bietet

  • Drucksensor-Chip (nur Chip oder Chip im Gehäuse)
  • Drucksensor-System mit ASIC
  • kundenspezifische Anpassung des Sensors
Unser Datenblatt ist ab sofort erhältlich: Protron Druck Sensor