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RF-MEMS |
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MEMS RF Schalter (radio frequency bzw. Hochfrequenz-Schalter) sind mikromechanische Systeme zum Schalten von Hochfrequenzsignalen. Der entscheidende Vorteil mechanischer RF Schalter gegenüber
PIN Dioden oder Transistoren ist die minimale Einfügedämpfung,
die gute Isolation im geschlossenen Zustand, die hohe Linearität
und die geringe Leistungsaufnahme. Derzeit entwickelt Protron RF-Schalter mit ohmschen Kontakt für Anwendungen in
Der Antrieb des Schalters erfolgt durch einen elektrostatischen
Kammantrieb, der eine hohe Kontaktkraft und damit eine hohe Zuverlässigkeit
garantiert. Der Schalter kann für Frequenzen von DC bis ca. 12GHz
ausgelegt und in serieller oder shunt-Anordnung betrieben werden. Eine
hermetische Verkapselung auf Chipebene verhindert die Kontaminierung der
Kontaktflächen. Der Schalter ist als diskretes Bauelement ausgelegt
und kann durch Flip Chip-Technik oder Drahtbonden in eine Hochfrequenz
-schaltung integriert werden. |
RF Schalter mit metallischen Wellenleitern 
Elektrostatischer Aktor für mikromechanische RF-Schalter
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Protron Mikrotechnik GmbH - Universitaetsallee
5 - 28359 Bremen - Germany - e-mail info@protron.de
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